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一種具有三凹陷結構的場效應晶體管及其制備方法

3722018/09/01
基本信息
  • 成果類型 高等院校
  • 委托機構 西安電子科技大學
  • 成果持有方 西安電子科技大學
  • 行業(yè)領域 電子元器件
  • 項目名稱 一種具有三凹陷結構的場效應晶體管及其制備方法
  • 知識產(chǎn)權 發(fā)明專利
  • 項目簡介 本發(fā)明屬于場效應晶體管技術領域,特別是公開了一種具有三凹陷結構的場效應晶體管及其制備方法;旨在提供一種具有寬溝道深凹陷且能夠提高輸出電流和擊穿電壓,改善頻率特性的一種具有三凹陷結構的場效應晶體管及其制備方法;采用的技術方案為:自上而下設置有4H?SiC半絕緣襯底、P型緩沖層、N型溝道層,N型溝道層的兩側分別設置有源極帽層和漏極帽層,所述源極帽層和漏極帽層的表面分別設置有源電極和漏電極,N型溝道層中部且靠近源極帽層的一側設置有階梯狀的柵電極,柵電極和N型溝道層兩側形成左側溝道和右側溝道。
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交易信息
  • 意向交易額 面議
  • 掛牌時間 2017/11/07
  • 委托機構 西安電子科技大學
  • 聯(lián)系人姓名 王小剛
  • 聯(lián)系人電話 15802954800
  • 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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