您當前的位置：成果庫 > 基于相移量機電耦合的分布式MEMS移相器工作電壓的調(diào)整方法
445
2018/08/17
咨詢成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類型 高等院校
- 委托機構(gòu) 西安電子科技大學
- 成果持有方 西安電子科技大學
- 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
- 項目名稱 基于相移量機電耦合的分布式MEMS移相器工作電壓的調(diào)整方法
- 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
- 項目簡介 本發(fā)明公開了一種基于相移量機電耦合的分布式MEMS移相器工作電壓的調(diào)整方法，包括確定分布式MEMS移相器的結(jié)構(gòu)參數(shù)、材料屬性和電磁工作參數(shù)；確定工作電壓標準值V0和相移量標準值Δφ0；施加2V0的工作電壓，測量M個MEMS橋中相移量Δφi；比較相移量測量值Δφi與標準值Δφ0；當相移量測量值Δφi>標準值Δφ0，得MEMS橋有向上的高度誤差，計算等效電路參數(shù)和工作電壓調(diào)整量；當相移量測量值Δφi≤標準值Δφ0，得MEMS橋向下高度誤差或無誤差，計算等效電路參數(shù)和高度誤差值，計算工作電壓的調(diào)整量；判斷是否已對全部計算工作電壓調(diào)整量；重新施加到相應(yīng)的MEMS橋上，測量分布式MEMS移相器的整體相移量；判斷調(diào)整工作電壓后的分布式MEMS移相器電性能是否滿足指標要求。本方法為實際工作的可靠性提供了理論指導(dǎo)。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時間 2018/01/16
- 委托機構(gòu) 西安電子科技大學
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
- 分享至：
