您當(dāng)前的位置：成果庫 > 基于機(jī)電耦合的分布式MEMS移相器電容橋高度公差的確定方法
372
2018/08/17
咨詢成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類型 高等院校
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
- 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
- 項(xiàng)目名稱 基于機(jī)電耦合的分布式MEMS移相器電容橋高度公差的確定方法
- 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
- 項(xiàng)目簡介 本發(fā)明公開了一種基于機(jī)電耦合的分布式MEMS移相器電容橋高度公差的確定方法，包括：1)確定分布式MEMS移相器的結(jié)構(gòu)參數(shù)、材料屬性和電磁工作參數(shù)；2)確定移相器等效電路參數(shù)；3)確定移相器的位數(shù)k；4)確定移相器的標(biāo)準(zhǔn)電容橋高度；5)給出初始電容橋的偏移量；6)利用單個電容橋的機(jī)電耦合模型，計算單個電容橋產(chǎn)生的相移量；7)計算移相器的相移量；8)計算移相器的偏差量；9)判斷該電容橋高度情況下的移相器偏差量是否滿足公差要求。本發(fā)明利用移相器電容橋結(jié)構(gòu)參數(shù)和相移量之間的機(jī)電耦合模型，直接得到電容橋結(jié)構(gòu)參數(shù)對移相器相移量的影響，快速給出合理的電容橋結(jié)構(gòu)公差精度，降低加工成本和難度，縮短研制周期。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時間 2018/01/16
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
- 分享至：
