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具有應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)的橫向敏感加速度傳感器芯片

3772018/08/17
基本信息
  • 成果類型 高等院校
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
  • 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
  • 項目名稱 具有應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)的橫向敏感加速度傳感器芯片
  • 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
  • 項目簡介 具有應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)的橫向敏感加速度傳感器芯片,包括:傳感器本體;應(yīng)力隔離元件,應(yīng)力隔離元件包括一對橫向設(shè)置的隔離梁和設(shè)置于所述隔離梁之間的隔離框,所述隔離梁兩端與所述傳感器本體相連,所述隔離框通過連接部與所述隔離梁相連;敏感元件,敏感元件包括質(zhì)量塊和一對橫向設(shè)置的撓性梁,所述撓性梁連接所述質(zhì)量塊和所述隔離框;壓敏電阻,壓敏電阻以所述質(zhì)量塊的中心為對稱中心對稱設(shè)置于所述質(zhì)量塊的兩側(cè),且位于連接部的寬度范圍內(nèi);設(shè)置于所述傳感器本體上的金屬焊盤,所述壓敏電阻通過引線與所述金屬焊盤相連。本發(fā)明的傳感器芯片具有結(jié)構(gòu)合理,封裝工藝簡單,穩(wěn)定性高,便于大規(guī)模、低成本生產(chǎn)的特點。
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交易信息
  • 意向交易額 面議
  • 掛牌時間 2018/01/19
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 聯(lián)系人姓名 王小剛
  • 聯(lián)系人電話 15802954800
  • 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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