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2018/08/15
咨詢(xún)成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類(lèi)型 高等院校
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
- 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
- 項(xiàng)目名稱(chēng) 基于超結(jié)漏場(chǎng)板的槽柵高壓器件及其制作方法
- 知識(shí)產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專(zhuān)利
- 項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于超結(jié)漏場(chǎng)板的槽柵高壓器件及其制作方法，自下而上依次包括襯底、GaN緩沖層、GaN溝道層、AlN隔離層、本征AlGaN層和AlGaN勢(shì)壘層，所述AlGaN勢(shì)壘層上間隔設(shè)有源極、柵極和復(fù)合漏極，所述柵極和復(fù)合漏極之間還設(shè)有線性AlGaN層，線性AlGaN層上設(shè)有p?GaN層，P?GaN層上設(shè)有基極，上述結(jié)構(gòu)的頂層還間隔淀積有鈍化層，所述鈍化層的間隔內(nèi)淀積有加厚電極。本發(fā)明在器件導(dǎo)通時(shí)的導(dǎo)通電阻得到減小，而在截止?fàn)顟B(tài)時(shí)的擊穿電壓得到提高，兼顧了器件擊穿電壓的提高與導(dǎo)通電阻的減小，同時(shí)采用槽柵結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)了柵極對(duì)溝道2DEG的調(diào)控作用，提高了器件的頻率性能。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時(shí)間 2018/02/27
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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