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面向精度設(shè)計(jì)的硅微機(jī)械陀螺系統(tǒng)參數(shù)獲取方法

18612020/06/11
基本信息
  • 成果類型 高等院校
  • 委托機(jī)構(gòu) 西北工業(yè)大學(xué)
  • 成果持有方 西北工業(yè)大學(xué)
  • 行業(yè)領(lǐng)域 微系統(tǒng)工程
  • 項(xiàng)目名稱 面向精度設(shè)計(jì)的硅微機(jī)械陀螺系統(tǒng)參數(shù)獲取方法
  • 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
  • 項(xiàng)目簡介 發(fā)明公開了一種面向精度設(shè)計(jì)的硅微機(jī)械陀螺系統(tǒng)參數(shù)獲取方法,屬于微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)領(lǐng)域。該方法通過建立參數(shù)之間的關(guān)聯(lián),給出一套從陀螺精度指標(biāo)出發(fā),考慮精度,電路噪聲,帶寬,靈敏度,諧振頻率,品質(zhì)因數(shù),機(jī)械噪聲,寄生電容,反饋電容,電容分辨率,驅(qū)動(dòng)位移,激勵(lì)電壓等參數(shù),以中心電容為結(jié)束的完整設(shè)計(jì)流程,為硅微機(jī)械陀螺的精度設(shè)計(jì)提供指導(dǎo)方法。本專利通過建立參數(shù)之間的關(guān)聯(lián),克服硅微機(jī)械陀螺參數(shù)復(fù)雜、多樣的特點(diǎn)對設(shè)計(jì)者造成的困擾,完成面向精度的陀螺系統(tǒng)參數(shù)設(shè)計(jì)。
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交易信息
  • 意向交易額 面議
  • 掛牌時(shí)間 2021/06/11
  • 委托機(jī)構(gòu) 西北工業(yè)大學(xué)
  • 聯(lián)系人姓名 王小剛
  • 聯(lián)系人電話 15802954800
  • 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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