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2020/05/28
咨詢成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類型 高等院校
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
- 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
- 項(xiàng)目名稱 T形柵場(chǎng)板高電子遷移率晶體管及其制作方法
- 知識(shí)產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
- 項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本發(fā)明公開(kāi)了一種T形柵場(chǎng)板高電子遷移率晶體管及其制作方法，主要解決現(xiàn)有場(chǎng)板技術(shù)在實(shí)現(xiàn)高擊穿電壓時(shí)工藝復(fù)雜的問(wèn)題。其結(jié)構(gòu)自下而上包括：襯底(1)、過(guò)渡層(2)、勢(shì)壘層(3)、鈍化層(8)和保護(hù)層(11)，勢(shì)壘層(3)的上面淀積有源極(4)、漏極(5)與柵極(7)，勢(shì)壘層(3)的側(cè)面刻有臺(tái)面(6)，鈍化層(8)內(nèi)刻有凹槽(9)，鈍化層(8)與保護(hù)層(11)之間淀積有T形柵場(chǎng)板(10)，該T形柵場(chǎng)板與柵極(7)電氣連接，且下端完全填充在凹槽(9)內(nèi)。本發(fā)明具有制作工藝簡(jiǎn)單、擊穿電壓高、可靠性高和成品率高的優(yōu)點(diǎn)。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時(shí)間 2021/05/28
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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