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2018/08/14
咨詢成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類型 高等院校
- 委托機構(gòu) 西安電子科技大學
- 成果持有方 西安電子科技大學
- 行業(yè)領域 電子元器件
- 項目名稱 批量加工晶圓的統(tǒng)計過程控制方法
- 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
- 項目簡介 本發(fā)明公開了一種批量加工晶圓的統(tǒng)計過程控制的方法，主要解決現(xiàn)有控制圖無法對批量加工晶圓實施統(tǒng)計過程控制的問題。其實施步驟是：1、當同一產(chǎn)品在相應加工爐中完成晶圓批量加工后，采集樣本數(shù)據(jù)，獲得每個子批的均值和標準偏差；2、由子批均值和標準偏差，計算二階嵌套控制圖中四個控制圖相應的特征值，獲得二階嵌套控制圖中四個控制圖的控制線；3、按照休哈特控制圖的繪制方法，將特征值和控制線繪制到對應的控制圖中；4、應用判斷過程異常準則對步驟3的四個控制圖進行判斷，得出批量加工晶圓的生產(chǎn)過程是否處于受控狀態(tài)的結(jié)果。本發(fā)明可全面監(jiān)控晶圓批量加工，且具有診斷功能，提高了晶圓的加工質(zhì)量，可用于晶圓批量生產(chǎn)。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時間 2018/03/06
- 委托機構(gòu) 西安電子科技大學
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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