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絕緣柵型直角復(fù)合源場(chǎng)板功率晶體管

2922020/04/14
基本信息
  • 成果類(lèi)型 高等院校
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
  • 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
  • 項(xiàng)目名稱(chēng) 絕緣柵型直角復(fù)合源場(chǎng)板功率晶體管
  • 知識(shí)產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專(zhuān)利
  • 項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本發(fā)明公開(kāi)了一種絕緣柵型直角復(fù)合源場(chǎng)板功率晶體管,主要解決現(xiàn)有場(chǎng)板技術(shù)在實(shí)現(xiàn)高擊穿電壓時(shí)工藝復(fù)雜的問(wèn)題。其包括:襯底(1)、過(guò)渡層(2)、勢(shì)壘層(3)、源極(4)、漏極(5)、臺(tái)面(6)、絕緣介質(zhì)層(7)、絕緣柵極(8)、鈍化層(9)和保護(hù)層(13),鈍化層(9)內(nèi)刻有凹槽(10),凹槽(10)內(nèi)完全填充有高介電常數(shù)介質(zhì)(11),鈍化層(9)與保護(hù)層(13)之間淀積有一字形源場(chǎng)板(12),一字形源場(chǎng)板靠近絕緣柵極一側(cè)邊緣與凹槽靠近絕緣柵極一側(cè)邊緣對(duì)齊,并將一字形源場(chǎng)板與源極電氣連接;一字形源場(chǎng)板與高介電常數(shù)介質(zhì)構(gòu)成直角復(fù)合源場(chǎng)板。本發(fā)明具有工藝簡(jiǎn)單、擊穿電壓高、可靠性高和成品率高的優(yōu)點(diǎn)。
項(xiàng)目咨詢(xún)
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交易信息
  • 意向交易額 面議
  • 掛牌時(shí)間 2021/04/14
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 聯(lián)系人姓名 王小剛
  • 聯(lián)系人電話(huà) 15802954800
  • 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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