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基于c面藍(lán)寶石襯底上Ga極性黃光LED結(jié)構(gòu)及其制作方法

4052018/08/13
基本信息
  • 成果類(lèi)型 高等院校
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
  • 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
  • 項(xiàng)目名稱(chēng) 基于c面藍(lán)寶石襯底上Ga極性黃光LED結(jié)構(gòu)及其制作方法
  • 知識(shí)產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專(zhuān)利
  • 項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于c面藍(lán)寶石襯底上Ga極性黃光LED材料及其制作方法。其生長(zhǎng)步驟是:1)對(duì)c面藍(lán)寶石進(jìn)行熱處理;2)在熱處理后襯底上生長(zhǎng)厚度為10?200nm的低溫成核層;3)在成核層上生長(zhǎng)厚度為0.2?100μm,Si摻雜濃度為5×1017cm?3~5×1019cm?3,C摻雜濃度為1×1017cm?3~4×1019cm?3的高溫n型GaN有源層;4)在有源層上生長(zhǎng)厚度為5?200nm的AlGaN阻擋層;5)在阻擋層上生長(zhǎng)厚度為0.01?10μm,Mg摻雜濃度為1×1017cm?3~5×1019cm?3的高溫p型GaN層。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單,成本低,可用于制作Ga極性GaN黃光發(fā)光二極管。
項(xiàng)目咨詢(xún)
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交易信息
  • 意向交易額 面議
  • 掛牌時(shí)間 2018/03/06
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 聯(lián)系人姓名 王小剛
  • 聯(lián)系人電話(huà) 15802954800
  • 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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