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2020/03/03
咨詢成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類型 高等院校
- 委托機構(gòu) 西安理工大學(xué)
- 成果持有方 西安理工大學(xué)
- 行業(yè)領(lǐng)域 其他
- 項目名稱 一種用于磁控濺射工藝的電弧熄滅方法
- 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
- 項目簡介 本發(fā)明公開了一種用于磁控濺射工藝的電弧熄滅方法，首先采樣磁控濺射電源輸出電壓、電流，根據(jù)電壓斜率和電流幅值進行電弧偵測，判斷電弧是否產(chǎn)生；其次，根據(jù)電弧產(chǎn)生的電流幅值大小進行電弧分類，將電弧分為第一電弧類型和第二電弧類型；最后對第一電弧類型和第二電弧類型分別進行滅弧處理。本發(fā)明能夠快速檢測和熄滅磁控濺射工藝中產(chǎn)生的電弧，方法簡單、切實可行、易于實現(xiàn)，彌補了以往電弧檢測和熄滅方法中存在的誤檢測和漏檢測，工藝區(qū)間丟失問題，可以有效保護濺射靶、工藝區(qū)間和電源。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時間 2022/03/17
- 委托機構(gòu) 西安理工大學(xué)
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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