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2019/12/27
咨詢成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類型 高等院校
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
- 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
- 項(xiàng)目名稱 絕緣柵型直角源場板高電子遷移率器件及其制作方法
- 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
- 項(xiàng)目簡介 本發(fā)明公開了一種絕緣柵型直角源場板高電子遷移率器件及其制作方法，主要解決現(xiàn)有場板技術(shù)在實(shí)現(xiàn)高擊穿電壓時工藝復(fù)雜的問題。其包括：襯底(1)、過渡層(2)、勢壘層(3)、絕緣介質(zhì)層(7)、鈍化層(9)和保護(hù)層(12)，源極(4)與漏極(5)淀積在勢壘層上，臺面(6)制作在勢壘層的側(cè)面，絕緣柵極(8)淀積在絕緣介質(zhì)層上，鈍化層內(nèi)刻有凹槽(10)，直角源場板(11)淀積在鈍化層與保護(hù)層之間，直角源場板(11)靠近絕緣柵極一側(cè)邊緣與凹槽靠近絕緣柵極一側(cè)邊緣對齊，該直角源場板與源極(4)電氣連接，且下端完全填充在凹槽(10)內(nèi)。本發(fā)明具有工藝簡單、擊穿電壓高、可靠性高和成品率高的優(yōu)點(diǎn)。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時間 2020/12/27
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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