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2019/12/12
咨詢成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類型 高等院校
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
- 行業(yè)領(lǐng)域 微電子
- 項(xiàng)目名稱 超薄自支撐單晶鈦酸鋇薄膜制備方法
- 知識(shí)產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
- 項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本發(fā)明公開了一種超薄自支撐單晶鈦酸鋇薄膜制備方法，主要解決現(xiàn)有技術(shù)不能直接在半導(dǎo)體材料上沉積單晶鈦酸鋇薄膜問題。其技術(shù)方案是：1.在藍(lán)寶石襯底沉積一層單晶氧化鎂薄膜；2.在單晶氧化鎂薄膜上沉積單晶鈦酸鋇薄膜；3.在單晶鈦酸鋇薄膜表面旋涂上聚甲基丙烯酸甲酯PMMA，用硫酸銨溶液除去單晶氧化鎂薄膜，使附有聚甲基丙烯酸甲酯PMMA的鈦酸鋇薄膜與襯底脫離；4.將脫離藍(lán)寶石襯底的單晶鈦酸鋇薄膜轉(zhuǎn)移到后續(xù)所需的半導(dǎo)體襯底上，得到超薄自支撐單晶鈦酸鋇薄膜。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體襯底上生長(zhǎng)單晶鈦酸鋇薄膜，且單晶鈦酸鋇薄膜的厚度僅為幾個(gè)納米，保證了光源照射的可靠性，可用于半導(dǎo)體器件制備。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時(shí)間 2020/12/12
- 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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