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2019/12/04
咨詢成果
發(fā)布成果基本信息
- 成果類型 高等院校
- 委托機構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
- 行業(yè)領(lǐng)域 先進制造技術(shù)
- 項目名稱 一種用于微結(jié)構(gòu)三維形變和位移測試的干涉測量系統(tǒng)
- 知識產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
- 項目簡介 本發(fā)明公開了一種用于微結(jié)構(gòu)三維形變和位移測試的干涉測量系統(tǒng)，具體是一種基于云紋載波干涉和泰曼?格林干涉的三維可靠性測量儀器。包括激光器平臺、三維光測平臺和六方向自由度載物臺，可完成MEMS微梁等微結(jié)構(gòu)的面內(nèi)?離面形變與位移，以及靜態(tài)三維形貌測試等。其中云紋干涉系統(tǒng)集制柵、測量于一體，位移場全反鏡具有360°自由旋轉(zhuǎn)功能，故只需一組全反鏡便可實現(xiàn)面內(nèi)任意方向的形變與位移測量，使整套裝置結(jié)構(gòu)大大優(yōu)化，同時整套儀器功能模塊化，增加了系統(tǒng)的可移動性與攜帶性。系統(tǒng)配有壓電陶瓷相移裝置，可使測量精度達到納米量級。同時又有測量精度高與智能化等特點。能實現(xiàn)MEMS器件材料參數(shù)確定、構(gòu)件形變和位移與靜動態(tài)形貌變化等可靠性測試。
交易信息
- 意向交易額 面議
- 掛牌時間 2020/12/04
- 委托機構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
- 聯(lián)系人姓名 王小剛
- 聯(lián)系人電話 15802954800
- 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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