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一種SiC歐姆接觸結(jié)構(gòu)

4092018/08/09
基本信息
  • 成果類型 高等院校
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 成果持有方 西安電子科技大學(xué)
  • 行業(yè)領(lǐng)域 電子元器件
  • 項(xiàng)目名稱 一種SiC歐姆接觸結(jié)構(gòu)
  • 知識(shí)產(chǎn)權(quán) 發(fā)明專利
  • 項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本實(shí)用新型涉及一種SiC歐姆接觸結(jié)構(gòu),包括:SiC襯底11;第一Ni層12,設(shè)置于所述SiC襯底11上;Ti層13,設(shè)置于所述第一Ni層12上;第二Ni層14,設(shè)置于所述Ti層13上;TaSi2層15,設(shè)置于所述第二Ni層14上;Pt層16,設(shè)置于所述TaSi2層15上。本實(shí)用新型提供的SiC歐姆接觸結(jié)構(gòu)提高了歐姆接觸的熱穩(wěn)定性和抗氧化性能。
項(xiàng)目咨詢
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交易信息
  • 意向交易額 面議
  • 掛牌時(shí)間 2018/03/30
  • 委托機(jī)構(gòu) 西安電子科技大學(xué)
  • 聯(lián)系人姓名 王小剛
  • 聯(lián)系人電話 15802954800
  • 聯(lián)系人郵箱 745490733@qq.com
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